嘉庚创新实验室激光直写标前更正公告
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：[350200]gwcg[gk]2022066
原公告的采购项目名称：嘉庚创新实验室激光直写
首次公告日期：2022年8月16日
二、更正信息
采购包1
更正事项：采购公告、采购文件
更正内容：
（一）第五章技术和服务要求中“2.2直写写头”的技术要求更改为：
2.2、直写写头
（1）★直写写头数量≥4。
（2）★最高分辨率＜1μm。
（3）分辨率＜0.5μm以下的均需能提供实际加工sem图片。
（4）最高分辨率条件下直写网格或数据分辨率≤10nm。
（5）z轴调节范围≥6mm。
（6）自动聚焦分辨率：100nm。
（7）镜头距离基板的范围：80μm。
（8）刻写速度：最高分辨率条件下刻写速度≥3 mm2/min；最快刻写速度不小于1500 mm2/min。
（9）8英寸衬底加工，线宽均匀性不大于250nm，且最高分辨率条件下线宽均匀性≤60nm。
（10）★可进行自动套刻。并配有正背面套刻功能，正面套刻精度不大于±0.5μm，背面套刻精度不大于±1μm。
（11）最高分辨率下加工拼接精度≤50nm。
（12）2μm图形加工4英寸满幅面积，拼接精度≤110nm。
（二）第五章技术和服务要求中“2.6、电器控制系统”增加以下技术要求：（9）配置符合中国 有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。
（三）第五章商务条件中的“7、支付方式数据表格”更改为：
| 支付期次 | 支付比例(%) | 支付期次说明 |
| 1 | 30 | 设备预验收合格后支付：预验收由采购人到中标设备工厂现场进行实验；预验收所用版图由采购人设 计决定；预验收存在任何不合格项的则不予付款。 |
| 2 | 30 | 设备发货后支付。 |
| 3 | 40 | 通过最终验收后支付。 |
| 4 | 0 | 注：以上为国产设备支付方式。若为进口设备，则采用100%即期不可撤销信用证方式支付，支付期次如下： 90%货款凭合同要求的单据支付，10%货款凭采购人签发的验收报告支付。 |
（四）第四章技术项评分修改为
| 评标 项目 | 评标 分值 | 评标方法描述 |
| 1-1 | 3 | 根据投标人所投设备进行评价： 最高分辨率在0.5μm（含）-1μm（不含）的，且能提供实际加工sem图片的得1分，否则不得分。 最高分辨率＜0.5μm，且能提供实际加工sem图片的得3分，否则不得分。 |
| 1-2 | 3 | 根据投标人所投设备进行评价： 激光能量为200 mw的得2分，＞200 mw的得3分，否则不得分。 |
| 1-3 | 3 | 根据投标人所投设备进行评价： 激光器寿命为8000 h的得2分，＞8000 h的得3分，否则不得分。 |
| 1-4 | 3 | 根据投标人所投设备进行评价： 最高分辨率条件下刻写速度≥3 mm2/min，满足得3分，不满足不得分。 |
| 1-5 | 3 | 根据投标人所投设备进行评价： 最快刻写速度为1500 mm2/min的得2分，＞1500 mm2/min的得3分，否则不得分。 |
| 1-6 | 2 | 根据投标人所投设备进行评价： 8英寸衬底加工，线宽均匀性不大于250nm，且最高分辨率条件下线宽均匀性≤60nm。完全满足得2分，不满足不得分。 |
| 1-7 | 3 | 根据投标人所投设备进行评价： 支持灰阶3 维结构光刻功能，灰阶≥255阶。完全满足得3分，不满足不得分。 |
| 1-8 | 2 | 根据投标人所投设备进行评价： 样品台定位精度≤10nm。完全满足得2分，不满足不得分。 |
| 1-9 | 3 | 根据投标人所投设备进行评价： 最大基板尺寸≥8英寸。完全满足得3分，不满足不得分。 |
| 1-10 | 3 | 根据投标人所投设备进行评价： 基材厚度为0-10 mm（含）的得2分，厚度能＞10 mm的得3分，否则不得分。 |
| 1-11 | 2 | 根据投标人所投设备进行评价： 配有温控装置，温度控制±0.1℃。完全满足得2分，不满足不得分。 |
| 1-12 | 2 | 根据投标人所投设备进行评价： 最高分辨率条件下直写网格或数据分辨率≤10nm。完全满足得2分，不满足不得分。 |
| 1-13 | 2 | 根据投标人所投设备进行评价： 最高分辨率下加工拼接精度≤50nm。完全满足得2分，不满足不得分。 |
| 1-14 | 2 | 根据投标人所投设备进行评价： 系统可保存不限数量的工艺菜单。完全满足得2分，不满足不得分。 |
| 1-15 | 3 | 根据投标人所投设备进行评价： z轴调节范围≥6mm。完全满足得3分，不满足不得分。 |
| 1-16 | 2 | 根据投标人所投设备进行评价： 2μm图形加工4英寸满幅面积，拼接精度≤110nm，满足的2分，不满足不得分。 |
| 1-17 | 2 | 根据投标人所投设备进行评价： 多种可接受数据格式，至少三种的得1分，多于三种的得2分，否则不得分。 |
| 1-18 | 3 | 根据投标人所投设备进行评价： 具有自动测试线宽、位置、边缘粗糙度、overlay精度的功能。完全满足得3分，不满足不得分。 |
| 1-19 | 3 | 根据投标人提供的供货方案进行评价，方案内容至少包含产品组织、供货送货、验收及培训等，内容完整、表述清晰可行的得3分；内容基本完整、表述基本清晰，有缺项但不影响供货服务的得2分；方案内容有涉及上述品项，不完整的得1分。内容有明显有欠缺的、未详细描述内容的、提供的与本项目无关或未提供的不得分。 |
| 1-20 | 3 | 投标人提供保修期后设备相关配件报价清单，以优惠价供应维修零配件、消耗品和延续保修合同。列出常用或价格较高的零配件、易耗品及延续保修合同的报价明细。提供的得3分，未提供的不得分。 |
| 1-21 | 3 | 投标人承诺提供系统所有不同等级权限的账号密码的得3分；未提供的不得分。 |
（五）第四章商务项评分2-7中的“类似业绩是指：投标人销售类似光刻机的业绩”修改为“类似业绩是指：投标人销售投标同种型号光刻机的业绩。”
（六）本项目提交投标文件截止时间及开标时间延期至：2022年9月19日上午9:15时。
其他内容不变。
三、其他补充事宜
无。
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系
1.采购人信息
名称：嘉庚创新实验室
地址：厦门市思明区思明南路422号亦玄馆
联系方式：0592-2882502
2.采购代 理机构信息
名称：厦门市公物采购招投标有限公司
地址：厦门市思明区湖滨南路81号21层d单元
联系方式：0592-2279326、2279300
3.项目联系方式
项目联系人：李老师
电话：0592-2882502厦门市公物采购招投标有限公司
发布日期：2022年9月2日
